一.系统简介

1. 系统名称: 洁净度定点环境设备实时监测系统 

2. 采用“洁净度定点环境设备实时监测系统”的必要性:

1）人工监测将给洁净厂房带来额外的人员和设备，增加了洁净负荷。人

体代谢约表皮细胞和设备带入的污染物,会影响洁净厂房的洁净度而且还会使监测的数据偏离实际运行的情况。

2）人工监测缺乏采样点和采样时间的固定性。在手工操作下，前后两次采样点的位置很难保证在同一点，采样的时间也不能保证在不同班次或日期的同一个相对或绝对时刻。因此，监测数据之间很难产生相对的联系，没有可比性，不利于判断系统运行的长期趋势。 

3）人工监测所取得的数据在生成报告时缺乏一致性和连续性，而且需要转录或其他处理，往往会造成人为的错误。 

4）人工巡检的检测报告是滞后的结果，即使发现了问题，但是环境污染造成的经济损失已不可弥补。 

5）人工监测是一项强度比较高的劳动，将耗费大量的人力资源。 

在生产过程中，环境的情况往往是变化的，原材料的进出、人员的更换以及产品的变化都将对厂房的洁净程度有所影响。往往在一个班次开始时环境是满足要求的而在结束时发现粒子数超出了标准。由于人工监测无法提供连续监测数据，因此无法估计系统是在何时偏离了规定工况，更无法估计产品的质量情况。这就违背了保证洁净室空气质量，进而提高产品质量的初衷。 

3. “洁净度定点环境设备实时监测系统”的功能：

 1）可以连续的测量各取样点的洁净度，使整个生产过程的每一时刻的环境情况得到监测。

 2）在同一采样点，连续的监测将会建立起生产过程中监测值典型基线，根据基线可以经验地确定报警极限和动作限。 

3）由于监测到的数据在时间和空间上都具有固定性，所以，数据之间有可比性和参考性，可以在各参数间建立起相互的联系，能提供系统运行长期趋势的分析。 

4）可以系统、方便地记录和整理监测数据，避免了繁杂的劳动和可能出现的错误。 

二. 系统示意图

洁净室多点在线监测系统简介Mainfold monitoring system in Cleanroom

三.系统组合

 1. 洁净度监测部分 
1-1.粒子传感器： 
1-2.自净过滤器： 

2. 计算机控制部分 

2-1.控制软件： 

2-2. 控制计算机：工业计算机（推荐）或家用计算机

3. 线路连接部分 

3-1.空气流连接部分：Vacuum Pump ( 泵)，PVC Pipe (泵PVC 管)，Sample Tubing (采样管)，Plate (接口板)

3-2. 信号连接部分：RS458/RS232 Converter (RS485-RS232 转换器) ， Communication Cable （信号连接线），RS485 Cable (RS458 连接线)，Plate （接口板）

3-3. 电源动力连接部分：Power Supply（电源供电箱），AC/DC Supply (电源转换器)，Power Cable (电源连接线)， Plate(接口板)

4.报警监测部分 

四.服务 

1. 销售服务： 
提供附件： 
现场培训： 

2.售后保修服务：所有售出主机及所有附件提供12 个月免费（包括备件及人工）保修。易耗品，人为损坏，使用不当不在保修范围内。

3.售后校正服务：
终身负责粒子计数器的每年定期校正服务。
校正报告：具有可追溯性

4.售后维修服务：

维修费用：1）. 在保修期内, 免费提供非人为造成的仪器及附件的损坏。

2）. 超出保修期,提供仪器及附件的维修服务。

响应时间：1）. 在接到用户维修要求后在8 小时内给出简单的故障诊断和解决方法指导用户排除故障。 

2）.若在现场不能解决，需在我公司实验室进行维修服务。

五. 资料

1. 3014-6P型远程控制空气粒子计数器  

2. 特 征 

    小型传感器监测多个空间 

    长寿命激光源 

       0.3微米，0.1立方英尺/分钟  

       0.5微米，0.1立方英尺/分钟  

       2个粒径通道（0.3，0.5，1，3，5，10）可任选两个通道 

       RS485 串行数据传输 

3. 应 用 

    洁净室监测 
        小型环境监测

5. 规格特征 

最小极限值      3014-6P   0.3 微米 

采样流量        0.1 立方英尺/分钟（2.83升/分钟） 

粒径通道（微米）通道1 / 通道2  0.3，0.5（或者在0.3，0.5，1，3，5，10中任选两个通道） 

也可跟据客户要求在0.1～10um进行定制 

光源            长寿命激光二极管 

重叠损失        5%在2,000,000 粒/立方英尺 

指示灯          当计数器通电时，电源LED 指示灯亮 

当传感器需要校正，或计数值超出报警极限设定值时，校正/报警指示灯亮 

电源            在>125mA时，是6V（±10%） 

报警输出        打开连接器FET 最大反向电流（on）150 mA

最大VC 电压（off）30 VDC

连接器          DB-15

重量            10.7 盎司（0.3 千克） 

连接管          入口，1.0立方英尺/分钟，1/4英寸 内径 

       出口，所有（真空源），1/4 英寸 内径 

环境            操作 温度：55 ～ 105℉（12 ～ 41℃） 

相对湿度：20 ～ 95%，无凝结 

存储 温度：-40～160℉（-40～70℃） 

相对湿度：小于等于98%，无凝结